Saflık, Gazların saflığı genel olarak ( % ) ile ifade edilmektedir.Bu yüzdenin tersten okunuşu da, gazın ne kadar kirli olduğunu gösterir. Saflık, aşağıdaki tabloda görüleceği üzere iki haneli rakamsal sistemle de ifade edilmektedir.
Argon
4.5 / 5.0 / 5.5 / 6.0
Azot
4.5 / 5.0 / 5.5 / 6.0
Oksijen
2.5 / 4.5 / 5.0 / 5.5 / 6.0
Karbon dioksit
3.5 / 4.0 / 4.5 / 5.0
Bu sistemde ilk hanedeki sayı % işaretinden sonra gelen 9’ların sayısını virgülden sonraki sayı ise “9” lardan sonra gelen rakamdır. Argon 4.5 saflıkta olacak dediğimiz zaman bu şu anlama gelecektir % 99,995 . Aynı şekilde 2.5 saflıktaki oksijen, % 99,5 saflıktaki oksijendir. Genellikle kalibrasyon gazları (ppm) ile ifade edilmektedir. ppm ile gazın kirlilik derecesi gösterilmektedir.
Bu aşağıdaki tabloda daha net olarak göreceksiniz: